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【實測記錄】高解析度 大視場顯微鏡頭+激光自動對焦

時間:2024-12-16 點擊次數(shù):50
結(jié)合AOI(Auto optical inspection)應用要求的多倍率、高精度、高效率的剛性需求,我們用現(xiàn)有的標準鏡頭模塊搭建了多種倍率規(guī)格的開放式、高集成友好度的顯微成像光路,為圖像方式自動對焦、液態(tài)鏡頭自動對焦、激光自動對焦等對焦模塊預留了帶有調(diào)節(jié)裝置的安裝接口。
QQ截圖20241216120102.png
無論您是終端用戶還是OEM系統(tǒng)集成商,均可根據(jù)應用要求,用我們高解析度、多種倍率規(guī)格的鏡頭模塊搭配不同靶面、不同像元尺寸相機、各類激光自動對焦單元,搭建性能毫不冗余的一鍵飛測高功效設(shè)備,實現(xiàn)不同的AOI檢測要求。
以下是高解析度、大視野鏡頭模塊 同軸接入自動聚焦傳感器,采用不同相機、不同放大倍數(shù)下的實測記錄,請參考:
實測案例一:16x - 線掃6K TDI
在飛測應用場景中,線掃相機能夠不間斷地對勻速運動機構(gòu)上的樣品進行連續(xù)采圖,線陣分布的像素利用效率更高、掃描表征速度更快。
然而,在線掃相機+高放大倍率的應用場景中,高倍鏡頭的成像景深相對較小,對運動機構(gòu)的穩(wěn)定系和精度要求較高,圖像精度受限于掃描運動精度,最終影響測量精度。

QQ截圖20241216115719.png

針對高精度、快速檢測應用,我們在模塊式成像光路中引入了TDI模式線掃相機,結(jié)合實時激光自動對焦傳感器,進行了以下測試:

  • 相機:6560(H)x256 (V)  Pixel Size 3.45μm  TDI Stage 64 / 128 / 192 / 256;

  • 鏡頭光學放大倍數(shù):16x;

  • 解析度:1μm;

  • 物鏡初始成像景深:3.5μm;
實測案例二:32x - 面陣 全局快門 CCD

在完成上述高解析度+線掃的成像測試后,我們更換了光路中的相機和鏡筒模塊,即刻獲得了更高解析度的實時自動對焦顯微成像系統(tǒng):

  • 參數(shù):1/1.2"  2MP CMOS CCD, Pixel Pitch 5.86μm 167fps
  • 鏡頭光學放大倍數(shù):32x
  • 物鏡初始成像景深:1.6μm
  • 視野:0.41mm
  • 分辨率:0.7μm

除上述兩種記錄配置外,這套開放式的成像光路還能搭配更多規(guī)格的CCD、自動聚焦模塊、變倍/定倍等功能模塊,呈現(xiàn)更多倍率、視野和解析度的高質(zhì)量實時聚焦圖像。以下是這套高解析度 大靶面鏡頭搭配自動聚焦模塊的規(guī)格參數(shù),請參考:

QQ截圖20241216115959.png

我們的光學實驗室可提供各倍率規(guī)格高解析度鏡頭、各類面陣/線掃相機搭配激光自動對焦傳感器進行驗證性測試,歡迎有相關(guān)測試需求的各領(lǐng)域集成或終端用戶與我們聯(lián)系。眼見為實!驗證成像質(zhì)量和集成可能性。

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